Основные направления исследований

  • Физика свободно локализованного СВЧ разряда в волновых пучках.
  • Плазмохимический синтез моно- и поликристаллических алмазных плёнок из газовой фазы.
  • Разработка высокоскоростного метода осаждения поликристаллических алмазных плёнок в плазме высокой плотности, создаваемой СВЧ излучением миллиметрового диапазона длин волн.
  • Исследования физических свойств алмазных плёнок.
  • Синтез полупроводникового CVD алмаза.
  • Разработка устройств твердотельной электроники, акустоэлектроники, оптики на основе алмазных плёнок.
  • Лазерная резка и механическая обработка (шлифовка) алмазных материалов.
  • Разработка активных компрессоров СВЧ импульсов с распределенными плазменными переключателями.
  • Исследование условий возникновения и подавления мультипакторного разряда на поверхности диэлектриков.
СВЧ разряд в двух пересекающихся волновых пучках, частота излучения 40 ГГц
СВЧ разряд в реакторе над комбинированной пластиной моно- и поликристаллического CVD алмаза в процессе сращивания, частота излучения 2.45 ГГц
Пластины поликристаллического CVD алмаза, шлифованная (d=50 мм, h=1.5 мм) и нешлифованная (d=75 мм, h=0.5 мм)
Монокристаллический CVD алмазный слой на подложке из HPHT алмаза